英國VacCoat 系列離子濺射儀
VacCoat鍍膜儀,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,十分適用于高分辨率和高質量樣品的表征。
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     VacCoat公司

     Vac Coat有限公司是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。

     Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。Vac Coat的真空鍍膜機系統已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

 

     一、DSR1



     儀器描述:

     該產品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。


     產品特點:

     • 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

     • 通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

     • 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構

     • 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

     • 可聯網更新用戶友好軟件



     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。


 

     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 符合CE標準


     產品參數:

     • 2英寸磁控管陰極

     • 兩級直驅4m3/h旋片機械泵

     • Pyrex樣品倉:外徑170mm,高140mm,

     • 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

     • 運輸重量(包括真空泵):42kg

     • 電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     • 極 限 真空度:小于40 mTorr

     • 電子控制快門

     • 電子控制真空閥

 

     二、DCR



     儀器描述:

     DCR是一臺結構緊湊的臺式鍍碳儀??捎糜趻呙桦娮语@微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和能譜分析(EDX)制樣。

 

     產品特點:

     • 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統鍍碳相比,碎屑顯著減少



     • 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

     • 可聯網更新用戶友好軟件

     • 可記錄和繪制涂層參數圖表



     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。


 


     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 符合CE標準

 

     產品參數:

     1、真空泵:二極直驅旋片機械泵(4m3/h)

     2、極 限 真空度:小于50 mTorr

     3、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,

     4、0-25 A脈沖直流開關電源

     5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

     6、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     7、電子控制快門

     8、精密真空壓力控制閥

     9、USB數據傳輸端口

     10、運輸重量:46kg

 

     三、DSCR



     儀器描述:

     DSCR型臺式多功能鍍膜儀,是一臺緊湊型涂布系統,集離子濺射系統和鍍碳系統于一體。該系統能夠在不導電或導電性差的樣品上濺射金(Au)、鈀(Pd)、鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)等貴金屬,并且可以在樣品上鍍上碳膜。

     DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備。全自動操作選項使得即使是初學者,也可以輕松使用系統,形象的用戶友好軟件,簡化了對沉積信息的感知。


     產品特點:

     • 精密可復制涂層:可重復膜厚沉積

     • 高分辨率精細涂層(金顆??蛇_2nm)

     • 低壓濺射

     • 無需冷卻系統

     • 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統鍍碳相比,碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍,用于厚層沉積

     • 易于操作:7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程,數據輸入簡單快速

     • 用戶友好的全自動及半自動控制軟件

     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 符合CE標準


     產品參數:

     1、真空泵:二極直驅旋轉機械泵(4m3/h)

     2、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,

     3、儀器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm

     4、2英寸磁控管陰極

     5、極 限 真空度:小于50 mTorr

     6、電子控制快門

     7、自動控制泄露閥

     8、電源:220V-240V, 50/60HZ- 10A

     9、80W直流開關電源

     10、運輸重量:42kg

 

     四、DST1-170

 

 

     產品描述:

     DST1-170是一臺結構緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射,包括惰性金屬以及氧化性金屬,DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。

     DST1-170高真空濺射儀,可提供高質量的均勻薄膜,具有較細的晶粒尺寸,十分適用于樣品的分辨和品質表征,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD,也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中,如:納米和微電子、太陽能電池應用、光學元件涂層合薄膜傳感器等。


     產品特點:

     • 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染。



     • 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構

     • 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

     • 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

     • 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速

     • 可通過網絡更新的用戶友好軟件

     • 可記錄和繪制涂層參數圖

     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 符合CE標準


     產品參數:

     1、高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)

     2、二極直驅旋片機械泵(4m3/h)

     3、極 限 真空:小于5x10-6 Torr

     4、獨立于壓力自動控制濺射功率

     5、全量程真空計(Leybold)

     6、ISO-KF 63蝶形閥

     7、80 W直流電源

     8、電子控制快門

     9、電控氬氣泄漏閥

     10、設施:220V-240V,50/60HZ-16A

     11、運輸重量:36kg
 

     五、DCT


 

     產品描述:

     DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀,可提供細粒度均勻的高質量碳膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,尤其適合FE-SEM,EDS/WDS,TEM,EBSD和薄膜應用研究等。


     產品特點:

     • 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統鍍碳相比,碎屑顯著減少

     • 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

     • 可聯網更新用戶友好軟件

     • 可記錄和繪制涂層參數圖表



     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果

     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 可選用碳棒蒸發源及適配大電流電源

     • 符合CE標準

     產品參數:

     1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold

     2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵

     3、全量程真空計

     4、真空倉:外徑170mm,140mm

     5、0-25 A脈沖直流開關電源

     6、極 限 真空度:小于50×10-6 Torr

     7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

     8、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥

     10、電子控制快門

     11、涂層參數實時圖

     12、USB數據傳輸端口

     13、運輸重量:46kg

 

     六、DSCT

 

 

     產品描述:

     DSCT是一臺多功能的涂布系統,集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體:在一臺儀器中具有可互換的磁頭。

     DSCT高真空鍍膜機,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。

     DSCT具有2''磁控管陰極,80w直流開關電源和碳蒸發大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
 

     產品特點:

     • 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染。



     • 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構

     • 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統鍍碳相比,碎屑顯著減少

     • 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

     • 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

     • 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速

     • 可通過網絡更新的用戶友好軟件

     • 可記錄和繪制涂層參數圖

     • 可配高精度石英晶體厚度監測儀(精度可達1nm)

     • 樣品臺簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

     • 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     • 符合CE標準


     產品參數:

     1、極 限真空:小于5×10-6 Torr

     2、獨立于壓力自動控制濺射速率

     3、用于精確控制真空壓力的精密質量流量計(MFC)

     4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

     5、設施:220V-240V,50/60HZ-16A

     6、運輸重量:42kg

產品參數

     整體型號的選型:

 

 

     儀器特點:

     VacCoat擁有離子濺射噴金儀、鍍碳儀,以及集噴金與鍍碳于一體的型號,用戶可根據不用應用,選擇高真空以及低真空的不同型號。

     VacCoat鍍膜儀,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,十分適用于高 分辨率和樣品的表征。

     •噴金系統具有2''磁控管陰極,磁控建設,減少樣品的 損 傷;

     •鍍碳系統配備80w直流開關電源和碳蒸發大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。

     •鍍碳系統可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統鍍碳相比,碎屑顯著減少

     •高真空型號配備渦輪分子泵90 l/s Leybold

     •使用二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵

     •配有全量程真空計

     •可選用高精度石英晶體厚度監測器,測厚精度可達1nm。

     •觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速

     •可通過網絡更新的用戶友好軟件

     •可控涂層速率,可獲得更細的晶粒結構

     •可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射,建設操作靈活簡便

     •可記錄和繪制涂層參數圖

     •配備電控快門

     •樣品臺更換簡單:標準樣品架,高度可調可選轉;也可選用適合多孔樣品的行星式旋轉樣品架


 

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