Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統
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品 牌: GATAN

名稱型號:Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統

制造商: GATAN公司

經銷商:歐波同有限公司

 

     產品綜合介紹:

     產品功能介紹:

     EBIC分析系統,可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流(EBIC)信號,獲得EBIC圖像信息,還可以獲得IV曲線信息,zui終可以測試PN結位置,寬度,少子擴散長度,材料或器件的失效點定位,廣泛應用于電子半導體領域。

   


     產品系統特點:

     高性能、地噪聲EBIC系統,進行定量EBIC測量。界面友好的分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。

     用于SEM的SmartEBIC 系統包括:

     •計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器

     •EBIC樣品座(ASH),并配有可調節的鎢探針以進行臺式接觸。配以適當的Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*

     •與SEM樣品臺接口

     •鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接,低噪聲這空饋通,適于EBIC和電子束流的測量

     •具有Fireware技術的DigiScan II數字電子束控制系統。它包括兩個模擬輸入,可同時采集攝影質量的圖像,并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉等。對于某些SEM,它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數。

     •配有先進的SmartEBIC應用插件的Digital Micrography軟件,以進行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析

     產品主要技術參數:

     SmartEBIC可以對EBIC信號進行自動控制采集和定量分析:


     掃描控制系統:

     1、1-, 2- or 4-比特數據采集提供了超大的動態范圍

     2、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率

     3、電子束停留時間,在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調

     4、自動調節圖像顯示大小,使得EBIC實驗過程變得更方便

     *5、配置Digi-Scan控制器,實時軟件控制全自動采集,可以在EBIC信號的采集時就對信號進行定量分析,無需附加的后處理,

     *6、可獲得EBIC圖像信息,還可以獲得IV曲線信息。


     噪音控制:

     1. 特別設計的EBIC附屬樣品臺

     2. 同軸繞線方式

     3. 可重復使用的鉛酸電池 (15小時續航時間)

     4. 可以改變放大器的增益,優化數據采集的信噪比和帶寬

     5. 兩種可選的一階RC濾波器 ,低通或高通濾波

     6. 低漂移放大模式

     7. 在與PC通訊的時間以外,系統的微處理器會自動切換到睡眠狀態

     8. 豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。  

     9. 可以適配與Lock-in技術(本系統并不提供,這樣的配置系統將不會對EBIC信號定量分析)

     追蹤:

     通過軟件實現。在12bit(1.22mV)采集分辨率模時為+/-5V。

     自動化:

     即使在放大器參數設定欠佳的條件下,系統也能自動優化圖像的顯示大小,從而提供更方便的圖像瀏覽

     可以對放大器的偏移/增益進行自動設置

     軟件:

     流程式一維擴散長度測量

     廣泛的面掃/線掃描分析工具,包括數學分析工具,濾波應用等

     廣泛的圖像顯示方案選項,包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加

     編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件


     產品主要應用領域:

     測試PN結位置,寬度,少子擴散長度金屬材料

     材料或器件的失效點定位

     測試半導體材料的位錯密度

     IV特性測試

     應用實例:

     應用一:測試PN結位置,寬度,少子擴散長度


 

     應用二:材料或器件的失效點定位


產品參數

品 牌: GATAN

名稱型號:Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統

制造商: GATAN公司

經銷商:歐波同有限公司

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