FIB-TEM

背景:

         某行業國外粉末顆粒競品,需觀察分析樣品在某一反應前后顆粒微結構的變化。委托OPTON對樣品進行TEM表征分析。

方案:

1、利用EBSD技術,對粉末顆粒的取向進行標定

2、對特定顆粒進行特定方向的FIB制樣

3、對樣品進行TEM觀察

結果:

測量流程如圖1所示,獲得特定方向的TEM結果見下。

圖1 通過EBSD尋找到方向合適的顆粒

 

圖2 利用FIB將樣品提取出來,制成TEM樣品

 

圖3 STEM測量結果

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