EBSD，全稱電子背散射衍射，主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射，給出結晶學的數據。

例1

20kV條件下得到的碳化鎢/鈷樣品的EBSD結果

PCB板上的焊球SEM-EBSD測試

原位觀察低碳鋼中γ→α的相變

Al合金原位EBSD的應力應變數據

例2 采用共軸TKD技術測試了納米孿晶銅的納米片層結構，并且分辨出了2nm尺度的孿晶片層結構

納米孿晶銅的孿晶結構PQ圖與IPFX疊加顯示以及圖中線段處角度分布圖