SEM-CL

 

陰極熒光光譜(cathodoluminescence spectroscopy)簡稱CL譜,是指利用電子束激發半導體,將價帶電子激發到導帶并在價帶留下空穴,而后由于導帶能量高不穩定,被激發電子又重新躍遷回價帶與空穴復合,并釋放出能量E≤Eg(能隙)的特征熒光譜。

例1:石英晶體CL像

 

 

例2:CL在半導體中的應用

 

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