SEM-EBIC

 

要進行EBIC測試的樣品必須是半導體材料且含有內電場,用于分離電子空穴對

通過測量,我們能得到PN結的位置、寬度,通過IV曲線研究來判定整流特性,可研究少數載流子的擴散長度,研究缺陷的位置,電子器件的失效分析。

例1:測試PN結位置,寬度,少子擴散長度

 

 

例2:測試半導體材料的位錯密度,定量計算Si太陽能電池材料中的螺型位錯。

 

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