要進行EBIC測試的樣品必須是半導體材料且含有內電場，用于分離電子空穴對

通過測量，我們能得到PN結的位置、寬度，通過IV曲線研究來判定整流特性，可研究少數載流子的擴散長度，研究缺陷的位置，電子器件的失效分析。

例1：測試PN結位置，寬度，少子擴散長度

例2：測試半導體材料的位錯密度，定量計算Si太陽能電池材料中的螺型位錯。